Задачи локализации брака продукции в производстве

Приведем краткую характеристику содержательного наполнения элементов СМ ПИ в рассматриваемой предметной области. Для решения задач локализации причин и факторов, объясняющих рассеяние и корреляцию контролируемых переменных, в СМ ПИ предлагаются разработанные модели и алгоритмы расслоения выборочных данных, поступающих с технологических процессов в реальном времени. При этом для выделения источников изменчивости при существующих схемах организации групповой обработки предлагается использовать адекватную модель обобщенного дисперсионного анализа, на основе которой осуществляется расслоение ковариационной матрицы наблюдений на компоненты в соответствии с источниками рассеяния в иерархических схемах классификации. Для вычисления ковариационных матриц — компонент общей матрицы — проводится факторный анализ, выполняемый по модели общих факторов с ортогональным или косоугольным вращением. Таким образом, факторизация источников неоднородности и нестабильности процесса изготовления интегральных микросхем осуществляется путем комбинированного применения факторного и обобщенного дисперсионного анализа, используемого для предварительного расслоения исходной ковариационной матрицы на независимые компоненты в соответствии с существующей в производстве многоступенчатой схемой объединения единиц групповой обработки. Для локализации факторов неоднородности в условиях априорной неопределенности признаков классификации в СМ ПИ предлагается использовать специально разработанные адаптивные алгоритмы расслоения выборочных данных в процессе их последовательного накопления.